고내식/고전도성 연료전지용 금속분리판 표면 개질과 나노 복합 코팅 기술 연구개발



Lab. Inline Evaporation system

· Ion source plasma 200mm

· E-beam system 10KW

· Capa. 30 sheet / day

Pilot Inline Evaporation system

· Ion source plasma 650mm

· E-beam system 16KW

· Capa. 250 million sheet / year